안녕하세요. 반도체 장비제조사에서 근무하고 있는 피에스케이 지성구 책임이라고 합니다. 저희가 현재 질화규소 재질의 플레이트를 제작 검토중에 있습니다. 관련하여 혹시 제작이 가능한지 문의 드리며, 평탄도 및 조도 등 spec도 확인 부탁 드리겠습니다. 대략적인 사이즈는 하기와 같습니다. Diameter: Φ300 Thickness: 5~10T 그리고 반도체용으로 납품이 되고있는 질화규소 파트가 있는지도 확인 좀 부탁 드립니다. 감사합니다.